日精株式会社

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IPA 蒸気洗浄装置

最終更新日: 2018-04-17 16:12:59.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能
装置仕様:IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
     シリコン、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
    アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法:幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm)

関連情報

IPA 蒸気洗浄装置
IPA 蒸気洗浄装置 製品画像
装置仕様:IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥
乾燥対象:6インチ 1カセット相当
     シリコン、ガラス、部品等
槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層
    アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法:幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm)

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