IPA 蒸気洗浄装置

最終更新日: 2024-07-31 15:53:45.0

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず、高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能

【特徴】
●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。
●実績が示す万全の安全対策
●オールステンレスにより破損の危険性を排除
●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減
●お客様のワークに応じた仕様変更も可能

※詳しくはPDFダウンロードまたはお問い合わせください

基本情報

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥
乾燥対象：６インチ　１カセット相当
　　　　　シリコン、ガラス、部品等
槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層
　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法：幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm)

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	豊富な納入実績ガス監視やN2 パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度必須	通常至急
ご要望必須	購入希望見積もり希望カタログ送付希望価格表送付希望事例送付希望連絡希望訪問希望その他
目的必須	新規購入既存入れ替え仕様確認購入検討中情報収集中顧客への提案
添付資料
お問い合わせ内容	【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。