【主要諸元】
■対象デバイス:各種絶縁基板・セラミック系メタライズ基板製品に対応
■対象デバイスサイズ:140×200mm程度(製品サイズの詳細は、別途打合せ)
■対象マガジン:各種マガジンに対応(マガジンサイズは別途お打合せ)
■検査視野:□23mm(検査対象により変更可能)
■分解能:4.5μm/pix(検査視野□23mm、25Mpixカメラ使用の場合)
■検査項目
・各種セラミック基板の外観検査
2D⽋陥:異物付着・汚れ/変色・⽋け、キズ・ダレ
3D⽋陥:膨れ・凹み
■ユーティリティ
■供給電源:1Phase AC100V±10% 2KVA
■供給エア:0.39MPa or more 100L/min or more
■装置サイズ:1,500(W)×1,500(D)×2,000(H)mm
■装置重量:約1,200kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■対象デバイス:各種絶縁基板・セラミック系メタライズ基板製品に対応
■対象デバイスサイズ:140×200mm程度(製品サイズの詳細は、別途打合せ)
■対象マガジン:各種マガジンに対応(マガジンサイズは別途お打合せ)
■検査視野:□23mm(検査対象により変更可能)
■分解能:4.5μm/pix(検査視野□23mm、25Mpixカメラ使用の場合)
■検査項目
・各種セラミック基板の外観検査
2D⽋陥:異物付着・汚れ/変色・⽋け、キズ・ダレ
3D⽋陥:膨れ・凹み
■ユーティリティ
■供給電源:1Phase AC100V±10% 2KVA
■供給エア:0.39MPa or more 100L/min or more
■装置サイズ:1,500(W)×1,500(D)×2,000(H)mm
■装置重量:約1,200kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。