高精度で高速で検査可能なセラミック基板自動外観検査装置です。
マルチアングルLED照明+複数枚画像撮像で、高精度2D欠陥検査が可能。
理想的な照明環境の構築や高速取込み、複数枚画像撮像や高分解能検査対応により、
多様な不良モードの欠陥を確実にキャッチします。
高精度の3D欠陥検査が搭載可能で、検査面全ての高さデータを取得し
僅かな膨れや凹みを検出します。
【特長】
■高精度2D欠陥検査
・理想的な照明環境の構築からマルチアングル/マルチch.制御可能
・高速取込み&複数枚画像撮像により、照明を切替えて複数枚画像撮像可能
・高分解能検査対応で4M~25Mpixカメラから選択可能
■高精度3D欠陥検査搭載可能
・検査面全ての高さデータを取得し、僅かな膨れや凹みを検出
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主要諸元】
■対象デバイス:各種絶縁基板・セラミック系メタライズ基板製品に対応
■対象デバイスサイズ:140×200mm程度(製品サイズの詳細は、別途打合せ)
■対象マガジン:各種マガジンに対応(マガジンサイズは別途お打合せ)
■検査視野:□23mm(検査対象により変更可能)
■分解能:4.5μm/pix(検査視野□23mm、25Mpixカメラ使用の場合)
■検査項目
・各種セラミック基板の外観検査
2D⽋陥:異物付着・汚れ/変色・⽋け、キズ・ダレ
3D⽋陥:膨れ・凹み
■ユーティリティ
■供給電源:1Phase AC100V±10% 2KVA
■供給エア:0.39MPa or more 100L/min or more
■装置サイズ:1,500(W)×1,500(D)×2,000(H)mm
■装置重量:約1,200kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【用途】 ■セラミック基板の高精度・高速自動外観検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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