<特長>
■マルチアングル照明により多様な欠陥にアジャスト
■小型・省スペース設計&作業は全てフロント面から
■イントレイ検査でベアチップへの接触をミニマム化
■画像情報の高次元統計解析による過検出低減ツール(オプション)
<モデルラインナップ>
■CI200i:表面+裏面検査モデル
■CI100i:表面検査モデル
■マルチアングル照明により多様な欠陥にアジャスト
■小型・省スペース設計&作業は全てフロント面から
■イントレイ検査でベアチップへの接触をミニマム化
■画像情報の高次元統計解析による過検出低減ツール(オプション)
<モデルラインナップ>
■CI200i:表面+裏面検査モデル
■CI100i:表面検査モデル