日精株式会社

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バッチ式洗浄装置

最終更新日: 2023-06-16 09:24:05.0
クリーン化技術・搬送/制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置を提供いたします。

長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送/制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。
3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。

基本情報

装 置 仕 様
【洗 浄 対 象】
~12 インチカセット(※対象サイズはご相談ください)
【槽構成】
ローダー(水中も可)→処理槽(最大9槽)→アンローダー
※乾燥は上記乾燥方式により選定

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 装置構成
【 薬 液 】
APM,HPM,SPM 等の無機薬品、IPA 現像液等の有機薬品及び各種洗浄液
【 搬 送 】
カセット/ドラム ならびにキャリアレス
【 洗 浄 対 象 】
スピンドライヤー/リンサードライヤー/ IPA ドライヤー

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