日精株式会社

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非接触表面性状測定装置

最終更新日: 2019-04-23 14:07:53.0
数十mmオーダーの広範囲をサブμmレベルの測定精度で高速に測定する事を実現しました。

三次元測定を行うことにより、断面曲線では検出できない精密加工部品の反り測定、成型品の形状不良、トライボロジーにおける摩耗量や傷の定量評価に最適です。
・接触式ではキズがついてしまう、スタイラスが折れてしまうサンプルの測定
・従来の光学式では不可能であった透明や鏡面の測定が可能
・面性状の最新規格ISO-25178-605 ポイントオートフォーカス法準拠のため、粗さ評価の標準機としてお使いいただけます。

基本情報

可動範囲(X, Y, Z)= 60 x 60 x 60mm
X-Y軸スケール分解能 = 0.1μm
Z軸スケール分解能 = 0.01μm (オプション0.001μm)
レーザスポット径 = 1μm (100倍時)
レーザ:λ = 635nm出力 1mW以下

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 微細形状測定や、うねり、粗さの管理

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