日星産業株式会社

ドライエッチング装置

最終更新日: 2021-12-01 17:01:06.0
MRAM用ドライエッチング装置!

反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。

基本情報

RIE、IBE、PECVDチャンバーを一つの真空制御装置に統合など各種カスタマイズも対応可能。
ご要望・お見積もりなど、お気軽にご相談ください。

価格帯 1000万円 ~ 5000万円
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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