日星産業株式会社

ICP エッチング装置

最終更新日: 2022-08-26 15:42:42.0
ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!

8"工程用Pishowシリーズ:
・Pishow:
シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能;
幅広く温度の工程に対応可能;
エッチングの速度と均一性を精密制御;
BOSOH工程に対応可能

・Pishow A:
HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能;
pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御;
超低出力工程に対応

・Pishow D:
DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応;
ガスの切り替え速度<1s;
BOSOH工程に対応可能

基本情報

量産機種では、12"工程用Herent, Chimeraシリーズ、8"工程用Kessel Pishow、Terbank Pishowシリーズもあります

価格帯 1000万円 ~ 5000万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Pishowシリーズ
用途/実績例 半導体、金属、ハードマスクなど材料のエッチング

詳細情報

Pishow1.png
Pishow型装置
PishowA1.png
Pishow A型装置
PishowD1.png
Pishow D型装置
Kessel P1.png
Kessel Pishow型装置

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