最終更新日:
2022-08-26 15:42:42.0
ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!
8"工程用Pishowシリーズ:
・Pishow:
シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能;
幅広く温度の工程に対応可能;
エッチングの速度と均一性を精密制御;
BOSOH工程に対応可能
・Pishow A:
HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能;
pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御;
超低出力工程に対応
・Pishow D:
DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応;
ガスの切り替え速度<1s;
BOSOH工程に対応可能
基本情報
量産機種では、12"工程用Herent, Chimeraシリーズ、8"工程用Kessel Pishow、Terbank Pishowシリーズもあります
価格帯 | 1000万円 ~ 5000万円 |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Pishowシリーズ |
用途/実績例 | 半導体、金属、ハードマスクなど材料のエッチング |
詳細情報
Pishow型装置
Pishow A型装置
Pishow D型装置
Kessel Pishow型装置
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
日星産業株式会社