マイクロ波発振器
周波数2450MHzのマイクロ波を発生させる機器で、主にプラズマ放電やマイクロ波誘電加熱、マイクロ波による化学反応のためのパワーソースとして使用されます。
当社システムは、大手半導体装置メーカーや電子デバイスメーカー向けに30年以上の供給実績があります。
機器構成としては、マイクロ波を発振するマグネトロン管が収納された「発振部」、発振部に所定の電流/電圧を供給するための「電源部」、発振部と電源部を接続するためのケーブルセット(標準7m)の3点セットとなります。
1500W、3000W、6000Wの3種のラインナップがあり、それぞれ小型・軽量、リモート・コントロール機能等の特徴を持っています。
当社システムは、大手半導体装置メーカーや電子デバイスメーカー向けに30年以上の供給実績があります。
機器構成としては、マイクロ波を発振するマグネトロン管が収納された「発振部」、発振部に所定の電流/電圧を供給するための「電源部」、発振部と電源部を接続するためのケーブルセット(標準7m)の3点セットとなります。
1500W、3000W、6000Wの3種のラインナップがあり、それぞれ小型・軽量、リモート・コントロール機能等の特徴を持っています。
6kWマイクロ波発振器『MPS-60W-400-CE』
【新製品】入力電源3相AC400V対応の小型・高出力のインバータ式マイクロ波電源。※CEマーキング対応製品。
最終更新日:
2024-06-04 16:43:00.0
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