導波管と負荷の間に挿入することで、減圧負荷へのマイクロ波機器接続を可能にします。
真空度は1Paまで対応しており、負荷側から導波管内へのガス等の侵入を防ぎます。
【特長】
■2450MHzマイクロ波用
■真空度1Paまで対応
■負荷側から導波管内へのガス等の侵入を防止
※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【一般仕様】
■外形寸法:W161 × D17 × H106.5 [mm] (突起部分等を除く)
■重量:2.0 kg 以下
■導波管規格:WRJ-2
■接続フランジ規格:BRJ-2
■窓材:石英(5t )
■枠材:アルミ
■シール方式:シリコンOリング
使用条件:周囲温度0~40℃ 湿度35~85%
【電気仕様】
■周波数範囲:2455MHz±20MHz
■通過耐電力:6000W (CW) (整合負荷時) (下記【注意事項】を参照願います)
■気密条件:真空度1Pa以下 (下記【注意事項】を参照願います)
■入力VSWR:1.33以下
【注意事項】
・導波管としての通過耐電力は6000Wですが、真空環境下に対してマイクロ波を投入すると窓材の減圧側でプラズマが点灯してしまい、マイクロ波の導入を阻害したり、発熱によるトラブル(Oリング焼損など)を引き起こす可能性があります。
・プラズマが点灯する条件は「投入するマイクロ波の出力値」と「負荷側の真空度」との兼ね合いで決まりますので、ユーザー責にて条件決定願います。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TW-WRI22-ALQ |
用途/実績例 | ・真空チャンバなどへのマイクロ波機器接続。 ・ワークからのアウトガス等が導波管内へ這い上がることの防止。 ※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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