◇ 原理:光学・非接触
◇ 1画面観察時間:約10秒
◇ 製品目的:欠陥可視化
◇ 表示:画像表示
◇ 操作:簡易
◇ 観察:透過試料(内部・表面・裏面)、反射試料(表面)
◇ 視野範囲:34×28mm~100×84mm
◇ 被写界深度:透過試料(約300mm)
◇ 反射試料:(約1mm)
◇ 分解能:(X・Y)150 nm~
◇ 分解能:(Z)5 nm~
◇ 検査項目:表面検査・内部検査
◇ 導入:現場検査・品質・開発、計測器との併用
◇ 環境: ノーマル
◇ メンテナンス:フリー
◇ 消耗品:ナシ
◇ 1画面観察時間:約10秒
◇ 製品目的:欠陥可視化
◇ 表示:画像表示
◇ 操作:簡易
◇ 観察:透過試料(内部・表面・裏面)、反射試料(表面)
◇ 視野範囲:34×28mm~100×84mm
◇ 被写界深度:透過試料(約300mm)
◇ 反射試料:(約1mm)
◇ 分解能:(X・Y)150 nm~
◇ 分解能:(Z)5 nm~
◇ 検査項目:表面検査・内部検査
◇ 導入:現場検査・品質・開発、計測器との併用
◇ 環境: ノーマル
◇ メンテナンス:フリー
◇ 消耗品:ナシ