最終更新日:
2021-04-30 17:05:37.0
見えない、見にくいナノサイズの欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化する新感覚スコープ
・目視検査が困難なウエハ内外部の欠陥を誰でも簡単に定量的に短時間で検査・評価することが可能。
・特殊光学系技術と特殊画像処理技術のコラボにより欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化。
・深さ（Ｚ方向）はナノレベル、視野範囲（ＸＹ方向）はマクロレベルの観察が可能。
・スクラッチ、クラック、ディンプル、ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク、ボイド、異物...等の検出。
・自動タイリングステージによりΦ100mm～Φ300mmウエハに対応。
基本情報
◇ 原理：光学・非接触
◇ 1画面観察時間：約10秒
◇ 製品目的：欠陥可視化
◇ 表示：画像表示
◇ 操作：簡易
◇ 観察：透過試料（内部・表面・裏面）、反射試料（表面）
◇ 視野範囲：34×28mm～100×84mm
◇ 被写界深度：透過試料（約３００ｍｍ）
◇ 反射試料：（約１ｍｍ）
◇ 分解能：（X・Y）150 nm～
◇ 分解能：（Z）5 nm～
◇ 検査項目：表面検査・内部検査
◇ 導入：現場検査・品質・開発、計測器との併用
◇ 環境： ノーマル
◇ メンテナンス：フリー
◇ 消耗品：ナシ
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ED SCOPE Til イーディー スコープ タイル |
| 用途／実績例 | ◇ Si, SiC, GaN, GaAs ウエハ等の受入検査。 ◇ 半導体デバイスの製造工程での検査。 ◇ Si, SiC, GaN, GaAs ウエハ等の開発。 |
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