オーエヌ総合電機株式会社

半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」

最終更新日: 2016-01-06 15:58:49.0

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純水1/4RC 圧縮空気1/4RC!薬液をスプレー塗布する装置

「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。
お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。

【材質】
○本体 :鋼板製
○塗布部:塩ビ製

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【標準仕様】
○ユ-ティリティ 純水1/4RC 圧縮空気1/4RC 排水1/4RC
○外形寸法    W800×H1500×D500
○電源      AC100V 10A

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