電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途 粉体と溶液の2種類を提供可能!
AQM社のH-SiOxは粉体・溶液2種類を提供可能なネガ型のレジストです。
Dow XR-154やFOXと同等の性能を提供可能です。
粉体・溶液はそれぞれに特徴がございます。
【粉体】
長期間の保管が可能:1年間保存可能なので長期間において少量ずつのご使用が可能です。
即納対応:必要な時にすぐに手に入ります。
常時同じ粘度での使用が可能:使用前に混合するので増粘しません。
濃度調整可能:アプリケーションに合わせた幅広い範囲の膜厚を作成可能です。
最高レベルの線幅:7nmの線幅を実現
【液体】
少量から購入可能:必要量に応じて対応します。
短納期:受注後1カ月以内での納品が可能です。
受注生産:より長いシェルライフでのお届けが可能です。
最高レベルの線幅:7nmの線幅を実現
お問い合わせは弊社担当【北野】まで。
電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途
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用途/実績例 | 電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途 |
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