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関連情報
インライン型膜厚計の分析例
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【特徴】
今回作製した蛍光X線膜厚計を成膜装置に装着して性能評価を行った結果、
○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで
補正が可能であることがわかりました。
○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr は、1nm 以下と
高感度で得られました。
○測定精度は静的精度及び動的精度ともCV=5%以下であり、極薄膜を高感度で
測定することが可能でした。
○以上から、本膜厚計は、極薄膜厚のインライン測定に十分適用可能であると考えられます。
○また、膜厚測定のみならず、めっき液の分析等にも適用可能と考えられます。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
薄膜の連続監視に!非破壊分析のライン組込式蛍光X線分析装置。
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【仕様(一部)】
■測定原理:エネルギー分散型蛍光X線分析法
■測定対象:フィルム・薄膜(膜厚)・流体
■電源:AC100V-240V
■設置環境温度:5-27℃
■装置冷却:水冷式 ※測定ヘッド部(内部)が水冷の対象
■X線定格出力:40kV、1.0mA、最大40(W)
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アワーズテック株式会社