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最終更新日:
2023-05-29 14:50:43.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
パーティクルカウンタは表面付着粒子には対応できません。また空中に浮遊してくれない大粒子は、運が良くなければ測定不可能です。
元来、クリーンルーム中の浮遊粉塵測定を目的としたパーティクルカウンタは、クリーンルーム中で粒子が拡散要因で浮遊していることを大前提にしています。通常の塵埃の密度を1.5g/CCからシリカ系の2.5g/CCと考えると、1um級までが浮遊粉塵の範囲であろうと考えます。
HEPAフィルタはしっかりと外来粒子を捕捉してくれます。しかし、10muや20um、30m級の粒子は外来というよりも、内在要因が大きく、見逃されがちです。
いくつかの要因で出てくる大粒子はさっさと鉛直方向に落下します。横向きにも当然、到達距離は粒子径、密度に依存せざるを得ません。
これをパーティクルカウンタで捕えるには、従来の、浮遊粉塵を対象、あるいは前提とした、いわゆる静的なモニタリングでは難しいと言わざるを得ません。
極論すると、浮遊している粒子をモニタリングして、このエリアは浮遊粒子が少ない＝綺麗だと言っているうちに、ワークは、上から落ちてくる、あるいは巻き上がって落ちてくる大粒子に汚染されているかもしれません（経験的にはかなりある）。パーティクルカウンタは所詮道具ですので、これをいかに使いこなすか、これが課題になります。
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