最終更新日:
2023-07-03 16:35:59.0
表面の粒子汚染はクリーンルームの欠陥にだけ原因があるのではありません!
当資料は、製造現場の大粒子汚染について紹介しています。
大粒子の要因をはじめ、粒子の大きさによる特質(振る舞い)や
参考:重力沈降、大粒子の特性のまとめなどを掲載。
製造現場の大粒子汚染についてお困りの際に活用ください。
【掲載内容】
■大粒子の要因
■粒子の大きさによる特質(振る舞い)を知る
■参考:重力沈降
■大粒子の特性をまとめると
■実測例
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基本情報
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