熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電)電源です。
・負荷短絡時、高速で出力を停止させる内部保護機能付
・高速立上がり、短パルス幅を実現
直流(充電)電源です。
真空プロセスから、各種バイアス用電源、集塵機などにも採用されている電源です。
真空プロセスから、各種バイアス用電源、集塵機などにも採用されている電源です。
価格情報 | 仕様により異なりますので、お問い合わせください。 |
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納期 |
お問い合わせください
※ 仕様により異なりますので、お問い合わせください。 |
用途/実績例 |
・真空プロセス装置用電源 ・DCバイアス用電源 ・集塵機用電源 |
ラインアップ
型番 | 概要 |
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直流電源(+300V/33.3A) | 受電電圧:3相AC200V 50/60Hz 出力電圧:0~+300V 出力電流:0~33.3A 出力電力:10kW 出力精度:±0.5%以下 定電圧安定度:±0.5%以下 出力リップル:±0.5%以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧,電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路,ヒューズ断線検出回路 サイズ(mm):480W×249H×600D |
直流電源(+750V/15A) | 受電電圧:3相AC200V 50/60Hz 出力電圧:0~+750V 出力電流:0~15A 出力電力:11.25kW 出力精度:±1%以下 定電圧安定度:±1%以下 出力リップル:±1.5%以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ(mm):480W×249H×586D |
直流電源(-1kV/10A) | 受電電圧:3相AC200V 50/60Hz 出力電圧:0~-1kV 出力電流:0~10A 出力電力:10kW 出力精度:±1%以下 定電圧安定度:±1%以下 出力リップル:±1.5%以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ(mm):480W×199H×600D |
直流電源(-2kV/5A) | 受電電圧:3相AC200V 50/60Hz 出力電圧:0~-2kV 出力電流:0~5A 出力電力:10kW 出力精度:±1%以下 定電圧安定度:±1%以下 出力リップル:±1.5%以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ(mm):480W×199H×600D |
直流電源(-22kV/370mA) | 受電電圧:3相AC200V 50/60Hz 出力電圧:0~-22kV 出力電流:0~370mA 出力電力:8kW 出力精度:±1%以下 定電圧安定度:±0.5%以下 出力リップル:±1%以下 制御方式:出力電圧一定制御,出力電流一定制御 表示:出力電圧・出力電流表示 保護機能:過電流・過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路 サイズ(mm):480W×249H×586D |
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