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プラズマイオン注入成膜装置

・栗田製作所新開発のプラズマ発生方式により三次元形状物でも全方位に均一にDLC処理が可能です
・ワーク自身がプラズマ発生用アンテナになる為、外部アンテナやイオン源が必要なく簡単にDLC処理が可能になりました
・パルス電源を使用しているため非常に低温（50℃〜）での処理も実現しました
・金属から絶縁物まで幅広い物がこの一台でDLC処理できます

大気圧プラズマ生成用電源

・パルス電源を用いた大気圧アーク放電です。そのためマッチング等の調整が不要です。
・パルス電源なので、室温からの処理も可能です。投入電力を増やすことで最大400℃程度の領域まで可能です。
・ガス種に依存せず、ガス化できるものであればほとんどの物質をプラズマ化出来ます。
・１台の電源で多チャンネル出力が可能なので、低コストで大量処理が可能です。

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

【成膜可能材質】
・アルミニウム　・アルミニウム合金　・チタン合金
・超硬合金　　　・工具鋼　　　　　　・金型鋼
・ステンレス鋼　・銅合金　　　　　　・各種セラミックス
・ゴム　　　　　・フィルム　　　　　
・樹脂(オイル充填量により対応不可の場合あり)

液中パルスプラズマ発生装置

栗田製作所新開発の水中プラズマ発生技術は、パルス電源技術を用い、電極周囲を高電圧パルスによりジュール過熱し気泡を発生させ、気泡内で絶縁破壊を起しプラズマを連続的に発生させる方法です。
マイクロ波を使う技術に比べ、簡素で安価な装置構成が可能です。

高電圧プローブ

・入力インピーダンス1MΩのオシロスコープに使用する受動プローブです。様々な電圧測定が可能です。
・据え置き型から缶コーヒーサイズの超小型サイズまで。
・DC10kV〜200kVまで幅広いラインナップ

パルス電源

・高速立上がり、マイクロパルスを実現
・低電流仕様から大電流仕様まで幅広いラインナップ

標準仕様以外のスペックの製作も可能です。お問い合わせください。

パルス電源（真空管スイッチ方式）

・高耐久性の真空管を採用している為、立上がり時間、パルス幅ともに従来の電源とは比べられない領域を実現しました。
・連続、バーストモードと多岐に渡る出力制御が容易に可能です。

バイポーラパルス電源(真空管スイッチ方式)

・高耐久性の真空管採用により、高速立上がり、マイクロパルスが可能になりました。
・両極性各々のパルス制御が可能です。
・もちろん片極性での使用も可能です。

直流電源

直流(充電）電源です。
真空プロセスから、各種バイアス用電源、集塵機などにも採用されている電源です。

リターン用銅平板

電源を安定して確実に利用するにはしっかりとした出力リータンが重要です。どれだけ高性能な電源があってもリータン回路がお粗末では十分な性能を出すことはできません。
思うように電源が動かない、アーキングがひどいなど原因不明な場合はまず接地リターン回路を見直すことをお勧めします。
それには栗田製作所の銅平板が最適です。

DLCコーティング加工　PEKURIS COAT

【特徴】
○低摩擦係数で潤滑性に優れたDLC膜
○低温処理が可能
○樹脂、ゴム、アルミなどの低融点物でも処理が可能
○超低応力DLC膜なので、厚膜DLCも可能
○自己放電方式の為、ワーク形状を問わず成膜が可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

電源製品　高圧パルス電源

【特徴】
○高速な立上り、立下りを実現
○低周波から高周波までを任意に設定可能
○負荷短絡時にも高速で出力を遮断
○低電圧から高電圧まで幅広いシリーズを品揃え
○出力パルス幅を任意に設定可能
○ローカル／リモート操作が可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

液中パルスプラズマ発生用電源　MPP-HV04

【特徴】
○電源はAC100V、（アース付）でOK
○出力は1kWで実験も余裕
○周波数は見易いデジタル表示付
○パルス幅は10回転目盛付ダイヤルでらくらく設定
○運転ボタンはガード付で誤操作防止
○持ち運び可能で設置場所を選ばない
○オプションのリアクターを使用すればすぐに実験できる

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

プラズマイオン注入成膜装置　PBII-R1000

【特徴】
○試作開発から量産まで幅広い業務に対応
○ガスイオン注入、DLC成膜がこの1台で処理が可能
○金属から絶縁物まで成膜条件の変更で様々な材質へ処理が可能
○立上げから立下げまで全自動
○取扱いが容易な為、生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されている

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

【ラインナップ】
○PEKURIS COAT NC
→PBII&DでのDLC標準膜で、ポンプ部品、刃物等の摺動部品に適したDLC膜
○PEKURIS COAT AC
→アルミに対して高密着なDLC膜で、中間層フリーにも対応可能
○PEKURIS COAT CC
→銅専用に開発された、高密着なDLC膜
○PEKURIS COAT SC
→フレキシブルな材料に適したDLC膜
○PEKURIS COAT HHC
→PBIIDの中で最高硬度を有する高負荷荷重に適したDLC膜
○PEKURIS COAT TC
→厚膜対応可能なDLC膜で、耐磨耗性に特に優れている
○PEKURIS COAT RC
→フィルム、ゴムなどの樹脂に適したDLC膜
○PEKURIS COAT IMP
→寸法精度を気にする事なく、ガスによるイオン注入処理が可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

DLC成膜装置「プラズマイオン注入成膜装置」

【ラインナップ】
○PBll-C600（R&D中型機）
→サイズがコンパクト
→真空排気時間も非常に短く成膜時間の短縮にも繋がる
○PBll-R1000（標準機）
→生産機としても使用できる
○PBll-R1500（標準大型機）
→R1000の5倍の容積を持つ大型機
→R1000と同様の使い易さで大型・長尺ワークへの成膜も可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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