安定したパルス放電を実現
バイアス電源のパルス化に最適なパルス電源です。
・高速立上がり、マイクロパルスを実現
・低電流仕様から大電流仕様まで幅広いラインナップ
標準仕様以外のスペックの製作も可能です。お問い合わせください。
・低電流仕様から大電流仕様まで幅広いラインナップ
標準仕様以外のスペックの製作も可能です。お問い合わせください。
| 価格情報 | 仕様により異なりますので、お問合せ下さい |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | パルス電源 |
| 用途／実績例 |
・真空プロセス用装置電源 ・パルスバイアス用電源 ・ターゲット加熱用電源 |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ±2.5kV/1Ap/30kHz | 出力電圧:0～±2.5kV,出力電流:0～1Ap,出力周波数:100Hz～30kHz,パルス幅:1～4μs,冷却方式:内臓ファンによる強制冷却,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路, 立ち上り時間:1μs以下（抵抗負荷 －3kV／10Ap時）,外形寸法:199W×450D×378H,重量：19kg |
| ±5kV/7Ap/60kHz | 出力電圧調整方式:スライドレギュレータ方式,最大出力電圧:0～±5kV,最大出力電流:0～7Ap,出力周波数:1kHz～60kHz,パルス幅:1μs～10μs,運転モード:連続・バースト,表示:DC電圧、電流計、出力周波数表示,冷却方式:内臓ファンによる強制空冷,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路,サイズ:480W×249H×520D,重量:170kg |
| ±7kV/1Ap/30kHz | 出力電圧:0～±7kV,出力電流:0～1Ap,出力周波数:100Hz～30kHz,パルス幅:1～4μs,冷却方式:内臓ファンによる強制冷却,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路, 立ち上り時間:1μs以下（抵抗負荷 －3kV／10Ap時）,外形寸法:199W×450D×378H,重量：19kg |
| ±10kV/3Ap/60kHz | 出力電圧調整方式:スライドレギュレータ方式,最大出力電圧:0～±10kV,最大出力電流:0～3Ap,出力周波数:1kHz～60kHz,パルス幅:1μs～10μs,運転モード:連続／バースト,表示:DC電圧・電流計／出力周波数表示,冷却方式:内臓ファンによる強制空冷,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路:サイズ（mm）:480W×249H×520D,重量:17kg |
| ±300V/30Ap/90kHz | 入力電圧:0～＋300V,出力電圧:0～±300Vp,出力電流:0～30Ap, 発振周波数:30Hz～90kHz,パルス幅:1μs～4μs,表示:出力周波数表示,冷却方式:内臓ファンによる強制空冷,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路,インターフェース:ローカル／リモート切替,サイズ（mm）:480W×249H×500D,重量: 25kg以下 |
| ±1kV/40Ap/50kHz | 入力電圧:0～-1kV,出力電圧:0～-1.2kV,出力電流:パルスモード0～40Ap DCモード 0～10ADC,出力周波数:125Hz～50kHz, パルス幅:1μs～DC（連続）,表示:出力周波数表示,冷却方式:内臓ファンによる強制空冷,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路,インターフェース:ローカル／リモート切替,サイズ(mm）:480W×349H×600D,重量:45kg |
| PVP-02V50A | 出力電圧:0V～-200V,出力電流:0Ap～-50Ap,繰返し周波数:0pps～50kpps,パルス幅:1μs～20μs,直流電源容量:-200V/40A/8kW,受電容量:12kVA,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路,使用デバイス:IGBT,外形寸法(mm):570W×1100H×620D |
| PVP-1KV10A | 出力電圧:0V～-1000V,出力電流:0Ap～-10Ap,繰返し周波数:0pps～30kpps,パルス幅:1μs～20μs,直流電源容量:-1kV/40A/8kW,受電容量:2kVA,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路,使用デバイス:IGBT,外形寸法(mm):570W×1100H×620D |
| PVP-1KV1KA | 出力電圧:0V～-1000V,出力電流:0Ap～-1000Ap,繰返し周波数:0pps～4kpps,パルス幅:1μs～200μs,直流電源容量:-1kV/40A/8kW,受電容量:7kVA,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路,使用デバイス:IGBT,外形寸法(mm):570W×1100H×620D |
| PVP-3KV10A | 出力電圧:0V～-3000V,出力電流:0Ap～-10Ap,繰返し周波数:0pps～40kpps,パルス幅:5μs～20μs,直流電源容量:-3kV/0.3A/900W,受電容量:2kVA,保護機能:過電流保護回路、過温度保護回路、ヒューズ断線検出回路,使用デバイス:IGBT,外形寸法(mm):570W×1100H×620D |
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