最終更新日:
2022-11-24 11:06:53.0
動作範囲20mm、分解能0.01µmの高速・高精度リニアアクチュエータ
動作範囲:~20 mm
最高速度:100ミリメートル/秒(無負荷時)
リニアエンコーダ内蔵:分解能 0.01 μm
オプションフォースセンサー:分解能 1mN
用途:精密位置決め、マイクロマニピュレーション、力に敏感なスイッチや表面物性試験など
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