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【顕微鏡検査】開口付 高精度XY軸ピエゾモーターステージ

最終更新日: 2022-11-24 11:16:50.0
厚さ32mm、分解能0.1µm、XY:25mm動作範囲 開口付ピエゾモーターステージ

U-751 開口付ステージは、顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に設計されたものです。
【特徴】
○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現
○ストローク:25×25mm
○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
○コンパクトな設計:断面高さ32mm、設置面積170×170mm
○センター開口部:78×78mm、66×66mm(最大拡大時)
○静止時に自動ロック
○PIピエゾナノポジショニング/スキャニングステージに適合

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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基本情報

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型番・ブランド名 U-751.24型
用途/実績例 応用例
・バイオテクノロジー
・顕微鏡による検査
・走査型顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・半導体試験
・ハンドリング

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