卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システム 最終更新日： 2023-07-13 11:17:45.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
プラズマ技術～バイオ・医療への応用a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能！高密度プラズマによる表面除染 最終更新日： 2023-05-19 14:16:14.0 お問い合わせ/資料請求
イオンビーム エッチング・成膜装置『QuaZar』総保有コストを減少させる事が可能！最高クラスの均一性とスループットを実現 最終更新日： 2023-05-19 14:48:07.0 お問い合わせ/資料請求
半導体故障解析用プラズマ・エッチング装置ICの絶縁層を除去！フットプリントが小さく、費用対効果の高いシステム 最終更新日： 2023-05-12 13:09:16.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
光化合物半導体 プラズマ加工装置長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以上の納入実績 最終更新日： 2023-05-12 18:06:53.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』表面の単原子層のエッチング！エッチング対象物へのダメージを抑える事が出来ます！ 最終更新日： 2022-11-24 20:16:38.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
プラズマ除去装置『HDRF』フォトレジストや有機ポリマ残渣を低温で除去！当社のプラズマ除去装置をご紹介 最終更新日： 2022-11-14 11:00:51.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
クライオ・プラズマ・エッチング Takachi ICP Cryo当社で取り扱う、極低温環境でのエッチング装置をご紹介いたします 最終更新日： 2022-11-14 11:00:50.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
不良解析エッチング装置『200FA/200R/200I』剥離処理により、不要箇所を除去！当社で取り扱う不良解析エッチング装置をご紹介 最終更新日： 2022-11-14 11:00:50.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
プラズマダイシング装置『MDS-100/MDS-300』複数サイズのウェハに対応！誘導結合プラズマを使用したBosch法によるダイシング 最終更新日： 2022-07-21 15:11:08.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
成膜装置『Corial 200 Series』用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成膜装置 最終更新日： 2022-07-21 15:11:08.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロール 最終更新日： 2022-07-21 15:11:08.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』パルス機能を利用！ALDと同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成する事が可能 最終更新日： 2024-09-04 15:17:48.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
