・シングルポイントセンサ (2IT, 2IT-DW, 2IT-RW)
厚み計測用センサで、表面状態、材質によって適切な照明のセンサを選択できます。
ドープウエハの測定では2IT-DWシリーズ、表面の粗いウエハなどでは2IT-RWシリーズが最適です。
最大70kHzの高速測定ができ、薄膜(数um)~厚膜(1260um)まで複数のプローブでカバーできます。
・エリアスキャナセンサ (Flying Spot Scanner)
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要になります。
φ40, φ80, φ300mmのタイプがあり、最大70kHzの高速測定ができます。
【その他の特長】
■測定レンジ:2IT1000 60μm~8000μm (n=1)
2IT500 35μm~4000μm(n=1)
■分解能:最大1nm(n=1)
■インターフェイス:Ethernet,RS422,アナログ(2ch)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。