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データシート - 厚み測定センサ CHRocodile 2LR ver2

最終更新日: 2023-09-01 12:52:11.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日：2023/08/14
非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。
新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インラインでも適用可能で、CHRocodile 2LRは多くのお客様へ実績があります。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。

【特長】
　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数32um)～厚膜(3900um)までカバー。(高精度な測定帯域は、16~1900um。線形性0.35um)
　■高分解能（サブミクロン 最小1nm）
　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
　■半導体業界で豊富な実績

関連情報

厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』
厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』 製品画像
【その他の特長】
■測定レンジ：
32μm～3900μm (n=1, 線形性1um)
16μm～1900μm (n=1, 線形性0.35um)
■分解能：最大1nm(n=1)
■測定周波数: 70kHz
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ
高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ 製品画像
【原理】
当社製品は測定原理で主に3種類のラインナップがあります。
■色収差共焦点
主に表面形状の計測に使用されていますが、透明体の厚み測定にも利用できます。分光干渉法より精度は劣りますが、安価な厚み測定をご希望の場合はこちらがお勧めです。

■分光干渉法
主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。
In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。

■レーザー加熱を利用した方法(Enovasense社製センサ）
レーザーダイオードで対象物を加熱。厚みに依って熱の伝搬スピードが異なるところを利用しています。独自のアルゴリズムで、対象物からの輻射熱を検知し、厚みに換算します。

【製品ラインナップ】
・シングルポイントセンサ
高精度タイプから、100万円以下の安価なタイプもあります。

・ラインセンサ
色収差共焦点で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

・エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。

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