![厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/bb0/2000413700/IPROS38851927708226077930.jpeg?w=140&h=140)
■測定レンジ:2DW1000 50μm~8000μm (n=1)
2DW500 30μm~4000μm(n=1)
2DW250 15μm~2000μm(n=1)
■分解能:最大1nm(n=1)
■インターフェイス:Ethernet,RS422,アナログ(2ch)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ドープウェハー測定に好適!非接触式で高精度・高分解能の安定性を実現!
『CHRocodile 2DWシリーズ』は、非接触でSi、SiCの厚み測定が
簡単に行えます。
サファイア等半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、
太陽電池等の厚み測定やドープウェハー測定に適しています。
干渉膜厚最大16層まで対応可能。対象物の傾きにも測定可能な
角度特性を実現しました。
【特長】
■非接触式
■高精度・高分解能の安定性を実現
■70,000Hzの高速サンプリング→R&Dからインラインに対応
■スポット径が小さく、分解能が高い測定が可能
■長い測定レンジで加工中、加工前後がこれ1台で可能
【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、形状、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア)、ドープウエハ、不純物ウエハ、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単
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プレシテック・ジャパン株式会社