プレシテック・ジャパン株式会社

非接触式センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

最終更新日: 2022-03-30 15:42:36.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

ドープウェハー測定に好適!非接触式で高精度・高分解能の安定性を実現!
『CHRocodile 2DWシリーズ』は、非接触でSi、SiCの厚み測定が
簡単に行えます。

サファイア等半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、
太陽電池等の厚み測定やドープウェハー測定に適しています。

干渉膜厚最大16層まで対応可能。対象物の傾きにも測定可能な
角度特性を実現しました。

【特長】
■非接触式
■高精度・高分解能の安定性を実現
■70,000Hzの高速サンプリング→R&Dからインラインに対応
■スポット径が小さく、分解能が高い測定が可能
■長い測定レンジで加工中、加工前後がこれ1台で可能

【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、形状、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア)、ドープウエハ、不純物ウエハ、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単

関連情報

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』
厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』 製品画像
【その他の特長】
■測定レンジ:2DW1000 50μm~8000μm (n=1) 
       2DW500 30μm~4000μm(n=1)
       2DW250 15μm~2000μm(n=1)
■分解能:最大1nm(n=1)
■インターフェイス:Ethernet,RS422,アナログ(2ch)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プレシテック社 非接触センサメーカーのご紹介
プレシテック社 非接触センサメーカーのご紹介 製品画像
【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点:主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法:主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。


【製品ラインナップ】
■シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。
100万円以下の安価なタイプもあります。

■ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

■エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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