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CHRocodile 2IT DW1000

最終更新日: 2022-03-30 15:50:29.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、表面粗さ、平坦度、TTV、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元、ラインセンサ、ラインスキャン、エリアスキャン、全面、小型、コンパクト、安い、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、CMM、溶接部、ガラス、石英ガラス、珪酸ガラス（医療用アンプル）,　ディスプレイ向けガラス、カーウインドシールド、PCB、バルーン、バリアフィルム、PETフィルム、コート、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、ダイシング溝、フリップチップ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単

関連情報

CHRocodile 2IT DW1000
CHRocodile 2IT DW1000 製品画像
【ドープウェハー各種測定結果】
■Dopped wafer
・P-(1-150Ω・cm)
・N-(1-200Ω・cm)
・P+(0.01-0.02Ω・cm)
・P++(0.005-0.01Ω・cm)980μmは除く
■Note：スラリーは測定時に光ピークのシグナル影響あり
■スラリー0.6mm～1.5mm厚みにおいて、215-545um(p++)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介
プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介 製品画像
【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点：主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法：主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。


【製品ラインナップ】
■シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。
100万円以下の安価なタイプもあります。

■ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

■エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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