![【資料】非接触厚み及び形状計測センサー 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/2be/2000485290/IPROS98227607902282814742.png?w=140&h=140)
【その他の掲載内容(抜粋)】
■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み
■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点
■例2:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:色収差共焦点によるステップハイト(厚み)
■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点
■測定例3:バンプウェハーの形状計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み
■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点
■例2:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:色収差共焦点によるステップハイト(厚み)
■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点
■測定例3:バンプウェハーの形状計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。