【その他の掲載内容(抜粋)】
■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み
■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点
■例2:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:色収差共焦点によるステップハイト(厚み)
■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点
■測定例3:バンプウェハーの形状計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み
■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点
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