【仕様】
《FSS仕様》
「FSS80」
原理:分光干渉
側面分解能:21μm
分解能(Z):最小5nm
スキャンエリア:80mm
「FSS40」
原理:分光干渉
側面分解能:6.5μm
分解能(Z):最小5nm
スキャンエリア:40mm
《センサ例》
「CHRooodile 2 DW 250」
測定レンジ:0~1800μm(形状測定として)
Z方向分解能:5nm
Z方向直線性:0.6μm
サンプリングレート:70kHz
光源:赤外線SLD
通信方式:Ethernet,RS422,Analog,LVDT
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
《FSS仕様》
「FSS80」
原理:分光干渉
側面分解能:21μm
分解能(Z):最小5nm
スキャンエリア:80mm
「FSS40」
原理:分光干渉
側面分解能:6.5μm
分解能(Z):最小5nm
スキャンエリア:40mm
《センサ例》
「CHRooodile 2 DW 250」
測定レンジ:0~1800μm(形状測定として)
Z方向分解能:5nm
Z方向直線性:0.6μm
サンプリングレート:70kHz
光源:赤外線SLD
通信方式:Ethernet,RS422,Analog,LVDT
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