![非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/3c8/2000560362/IPROS22893107896507821627.png?w=140&h=140)
【ラインアップ】
<CHRocodile 2 DPS(色収差共焦点方式)>
・光源:白色LED
・プローブにより100μm~38.5mmまで測定可能
・材料によらず全体の厚みを測定可能
<CHRocodile 2 IT(分光干渉原理方式)>
・光源:赤外SLD
・最大16層まで厚み測定可能
・研磨後のウエハに対応可能
<CHRocodile 2 DW(分光干渉原理方式)>
・光源:赤外SLD
・幅広い厚みレンジに対応
・ドープウエハに対応可能
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
<CHRocodile 2 DPS(色収差共焦点方式)>
・光源:白色LED
・プローブにより100μm~38.5mmまで測定可能
・材料によらず全体の厚みを測定可能
<CHRocodile 2 IT(分光干渉原理方式)>
・光源:赤外SLD
・最大16層まで厚み測定可能
・研磨後のウエハに対応可能
<CHRocodile 2 DW(分光干渉原理方式)>
・光源:赤外SLD
・幅広い厚みレンジに対応
・ドープウエハに対応可能
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。