■微細構造の形状欠陥検査(LED dots、ボールグリッドアレイ、コネクタ外観、チップ/PCBフレキの反り)
■ワイヤボンディングのループ高さ検査
■薄膜・厚膜の膜厚測定(ウエハ、接着剤、塗布膜、樹脂コート)※2~10500μmの厚み測定が可能
■粗さ測定(ウエハ面、金属表面)
■変位測定(トレンチ深さ、パターン高さ・幅)
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
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