【半導体アプリケーション】
■高速BGA計測
■高速基板検査
■高速ウェハー厚み計測
■高速反り計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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最終更新日:
2022-12-06 09:36:22.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2022/12/05
走査ステージが不要となるエリアスキャナ内蔵の光学センサ。高精度に厚みや距離を測定でき、高速測定で全数検査に向いています。
走査ステージが不要となるエリアスキャナ内蔵の光学センサです。測定モードは2種類あり、高精度に厚みを測定できる厚み測定モードと、距離を測定できる距離測定モードがあります。最大70kHzの高速測定ができ、今までできなかった全数検査を可能にします。測定範囲で選ぶと製品ラインナップは3種類あります。12inchウエハをターゲットにしたφ310mmタイプに加えて、φ80mm, φ40mmタイプがあります。より側面分解能を上げたり、角度許容度を上げたい場合はφ40mmタイプがお勧めです。φ310mmタイプでは、全数検査が難しかった12inchウエハの全数検査の実現、検査の高速化での用途があります。いずれのタイプも、部品の複数個取りでの高速検査にも使用可能です。測定時間の短縮には、70kHzの高速サンプリングに加え、任意のエリアをスキャンできる機能、縦方向・横方向また
左向き・右向きにスキャンできるなどの機能が役に立ちます。半導体ウエハ、基板、レンズなどの光学部品の検査にお勧めです。
関連情報
【アプリケーション】
■家電（スマートフォン）
・等角のコーティングの厚み
・トポグラフィー
■半導体
・高速BGA計測
・高速基板検査
・高速ウェハー厚み計測
・高速反り計測
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■家電（スマートフォン）
・等角のコーティングの厚み
・トポグラフィー
■半導体
・高速BGA計測
・高速基板検査
・高速ウェハー厚み計測
・高速反り計測
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