上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2024/05/28
ウエハ厚みモニタリングなど高精度、高速測定に特化したプレシテックセンサ。用途に合わせて、様々なラインナップから選択
ウエハ、フィルム、コーティングなど材料厚みを非接触測定できる光学式センサです。インラインでも適用可能で、CHRocodileシリーズは多くのお客様へ実績があります。干渉膜厚最大16層まで対応しています。
【特長】
■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
Siで0.5um~可能
■高分解能（サブミクロン 最小1nm）
■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
■半導体業界で豊富な実績
【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、高さ、計測、測定、検査、高速、エリアスキャン、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）
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プレシテック・ジャパン株式会社
