最終更新日:
2022-03-30 14:10:29.0
半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！
当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。
接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、
半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。
ぜひ、ご一読ください。
【掲載内容】
■CHRocodile 2シリーズ
■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン
■利点：色収差共焦点原理による使用
■利点：分光干渉原理による使用
■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、高さ、ステップハイト、平坦度、TTV、厚み計測、厚み測定、厚み検査、高速、3次元、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、半導体ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、光沢、鏡面、簡単 |
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