最終更新日:
2024-04-02 17:11:29.0
ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。
電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。
ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等）
「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。
【特長】
■大流量
■高い分解能、低いヒステリシス
■静圧軸受による低誤差、長寿命
■少ない内部リーク
■軽量案内弁による高速応答を実現
■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(一部)】
■AS310S(流量制御 3方弁)
・定格圧力：600kPa
・定格流量：200NL/min
・定格電流：1.0A
■AS311S(流量制御 5方弁)
・定格圧力：600kPa
・定格流量：200NL/min
・定格電流：1.5A
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