ピュアトラスト株式会社

水なし、風だけでパーティクルを徹底除去『エアースクリューノズル』

UPDATE   最終更新日: 2024-12-23 08:07:18.0
【もはや革命】水洗浄不要!エアーブローだけでパーティクルを除去します

<クラス100対応!半導体の洗浄に使用できます>

当エアーノズルは特許も取得した独自技術により、従来のエアーノズルと比較してエアーの噴出力がケタ違い。強力なエアーブローにより、半導体に付着したパーティクルを除去します。(クラス100対応)

つまり、これまで「1.水洗浄 ⇒ 2.水切り ⇒ 3.乾燥」と3ステップで行っていた洗浄工程が一変。
水を使わず「エアーブロー」だけ、1ステップで完了。
圧倒的に工程を短縮できます。

■メリット1:生産性・生産量の向上
水洗浄~水切り~乾燥の一連の工程が、エアーブローのみによる洗浄に置き換わります。
つまり、水洗浄・水切り・乾燥が不要となるため、生産性と生産量が格段に向上します。

■メリット2:業務効率化とコストカットの実現
上述の通り一連の工程が不要になるため、当該工程に割いていた人員や諸々の設備、それら設備のランニングコストや電気料等の諸経費を大幅にコストカットできます。

■メリット3:歩留まりの向上
他のエアーノズルとは比較にならない洗浄力で、歩留まり向上に貢献。
生産効率の引き上げに貢献します。

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基本情報

■特長1:桁違いの力を生む回転波動
一般に風が強ければ除塵できると思われていますが、たとえイオナイザーで静電気対策しても付着ダストは吹き飛びません。なぜなら、除塵能力は最終的にはノズルの能力で決まるからです。
肝心なのは強さではなく「質」。
当エアーノズルは回転波動でノズル内でエアを加工しカットエアーを発生。
このカットエアーが通常のエアーノズルの何倍もの破壊力を生み出し、微細なパーティクルをも徹底的に吹き飛ばします。

■特長2:いかなる形状でもエアーブローで徹底洗浄
突起物や溝、窪みや凹凸が多い対象物にこそ、当エアーノズルは多大な効果を発揮します。
回転波動によるカットエアーは溝や窪みの中をザグって掻き出す力に特に優れているため、
溝や窪みの奥までリーチし、エアーブローだけで落としていきます。

■特長3:あらゆる業界に導入可能
当エアーノズルはクラス100に対応。半導体をはじめとしたクリーンルーム内で使用できるだけでなく、洗浄工程を要する幅広い業界業種で導入可能。
これまで業界大手をはじめ、多くの企業や工場に納入実績がございます。

価格情報 個別にお見積りいたします。
まずはお問い合わせください。

<補助金を活用すると、最大で半額で導入することが可能です>
弊社では各種補助金の活用支援やサポートも行っております。
まずはお気軽にご相談ください。

※補助金額・補助率は活用する補助金の種類や企業規模等によって異なります。
貴社に最も適したものをご提案いたしますので、ご相談ください。
納期 お問い合わせください
※ エアーノズル単品だけでなく洗浄乾燥機も承っております。個別にカスタマイズいたしますので、それによって納期は異なります。まずはお問い合わせください。
型番・ブランド名 エアースクリューノズル
用途/実績例 【用途】
・半導体に付着したパーティクルの除去(クラス100対応)
・粉塵や切粉も高清浄度で除塵(クリーンルーム対応)
・ワークにこびり付いた汚れや付着したダストを、水なし・エアーブローだけで洗浄

当エアーノズルによるエアーブローによって、こびりついた頑固な汚れや付着したダストも、水なし・エアーブローだけで段々と落ちていきます。


【デモ機におけるテスト結果】
結論:500μm(0.5mm)以上のゴミは、エアーブローで全て除塵

下記の要領でエアーブローによる除塵テストを行いました。

1.トレイの任意の場所にゴミを付ける
■ゴミの大きさ:20μm以下、20~40μm、40~100μm、500μm(0.5mm)
■ゴミの種類:粘着系を除く浮遊物、繊維、樹脂等のゴミ

2.顕微鏡でゴミの数、場所を確認

3.デモ機でエアーブロー洗浄

4.顕微鏡でゴミを確認し、洗浄具合を確認

5.【500μm(0.5mm)以上のゴミは全て除塵】されたことを確認

お問い合わせ

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