○スキャンエリア:100×100μm(クローズドループ)
○サンプルステージ
・モータ駆動:最大移動幅 X=60mm、Y=15mm、Z=6mm
(AFMヘッド側 X=30mm、Y=3mm、Z=4mm)
○ノイズレベル:<0.2nm RMS(1.5 - 150Hz)
○光学顕微鏡
・水平分解能0.8μm、視野角0.7mm
・長作動距離対物レンズ(WD=20mm)
○CCDカメラ:5Mpix ハイスピード・デジタルイメージング
○励起波長
・可視、赤外およびテラヘルツまで(400nm~200µm)
※専用ブロードバンド光源により中赤外領域のナノスペクトロスコピー可能
●詳しくはお問い合わせください。