日本カンタム・デザイン株式会社

アクティブ防振台『IsoStage300』

最終更新日: 2018-08-09 19:08:20.0
Spike-Guardで測定効率とデータの質を向上!他社製AFMも利用可能

AFMやSTMは、高感度であるがゆえにナノメートル以下の振動も
ノイズとして拾ってしまいます。このような振動が問題となる測定には、
アクティブ防振台が必要となります。

『IsoStage300』は、装置へ伝わる振動をピエゾセンサで検知し、
6自由度(3軸)のアクチュエータで天板を駆動して動きをキャンセルして
制震するアクティブ防振台です。

低周波の振動を1Hzから低減することができ、5Hzでは93%(23db)、
15Hzでは99.0%(40db)の振動をキャンセルすることができます。
また、パッシブ型の防振台では困難な低周波数帯でのノイズを
効果的に低減することが可能となります。

【特長】
■最高レベルの防振性能
■Spike-Guard機能で測定の効率と質をアップ
■コンパクトなNanoSurf社製品に対応
 (他社製AFMでも適合するサイズや重量であればご利用可能)

※詳しくはHPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【Spike-Guard機能】
■IsoStage300が大きな振動を検知したときに、それをソフトウェアと
 AFMコントローラに伝え、そのラインだけを測り直してくれる機能

【こんな経験がある方におすすめ】
■たった1ラインのスパイクのためにイメージ全体を測り直すはめになった
■時間がかかるので測定ラインを少なくせざるを得なくなった
■泣く泣くスパイクがある画像のまま提出した
■周りのピクセルで平均化して目立たなくした 等 

※詳しくはHPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例 ※詳しくはHPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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