九州計測器株式会社

スパッタ装置 QKG-Sputtering

最終更新日: 2015/06/15

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

フルオートで大気に曝される事なく成膜まで完了!
スパッタ装置を「計測器屋」のアプローチで改良を重ねた当製品は一見の価値アリ、です。

関連情報

スパッタ装置 QKG-Sputtering
スパッタ装置 QKG-Sputtering 製品画像

装置構成:
成膜チャンバー本体・自立制御盤・チラー・コンプレッサ
処理方法:
バッチ処理
スパッタ源:
マグネトロン式φ25mm×5
※詳細はカタログ裏面をご確認ください。

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