最終更新日:
2024-04-05 13:39:23.0
原因の早期究明に役立ち、以前よりも信頼いただけるように！当社の製品事例をご紹介
装置メーカーの顧客サービス部が『PLAZMARK O2クリーニング用』を
導入した事例をご紹介いたします。
自社製真空プラズマ装置の排気パイプのシーリング部品の劣化が早過ぎると
クレームを受け、不具合がないか原因究明を求められました。
そこでチャンバー内のプラズマの様子を確認するため、当製品を導入して
実験したところ、排気ダクトの中までプラズマが届いてしまっている事実が
変色により把握でき、ユーザーの工程への影響も最小限で抑えられました。
【事例概要】
■課題
・自社製プラズマ装置に不具合がないか原因を究明
■結果
・排気ダクトの中までプラズマが届いてしまっている事実が変色により把握
・ユーザーの工程への影響も最小限で抑えることができた
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基本情報
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