『PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用』は実装工程や後工程
向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。
「O2クリーニング用」はラジカル性のプラズマ検知に最適化。
UV洗浄やUVオゾン洗浄にも適用できます。
「Arクリーニング用」はイオン性のArプラズマを効率よく検知。
ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では
O2クリーニング用のほうが適しています。
【使用例】
■めっき前の表面改質
■ワイヤーボンディングなど接合面の表面改質
■部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
■LSI、メモリ、MEMS等電子デバイスの封止前のクリーニング
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【仕様】
[PLAZMARK O2クリーニング用]
■対応ガス:O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
■感度:No.1(高感度)
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
(シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
[PLAZMARK Arクリーニング用]
■対応ガス:Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
■感度:No.21(高感度)
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
(シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
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