株式会社三協製作所 本社事務所

半導体製造装置用フォーク

最終更新日: 2022-10-18 09:46:10.0

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軽くて撓まない、更に振動減衰性能も向上!

●お客様の仕様に応じて、さまざまな形状に加工を承っています。
外観からは窺い知れませんが、内部は井桁構造や発泡体構造で、真空配管を埋設することも可能です。
アルミ製同一寸法と比較した場合、 振幅幅、減衰時間とも大凡50%の改善が期待できます。

●ロボットフォークの多くはスカラ方式を採用していますが、
一つのコマンドから次のコマンドへ移る際、振動が収束しなければなりません。

この一連の動作がタクトタイムとなり、生産効率の指標となります。
炭素繊維は固有振動数が非常に高いため、これ等の用途には適した素材と言えます。

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※ 働20日間程度
用途/実績例 ◆比剛性/アウトガス特性/振動減衰特性
◇ウェハー搬送フォーク

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