三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ
研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案!
最終更新日:
2023-11-24 11:29:07.0
ステッピングモータをサーボモータ並みの精度に引き上げ!
トルク制御を極限まで極めた!負荷変動を打ち消すことで、通常では使用できない微小なトルク制御が可能となりました
最終更新日:
2024-02-06 16:07:13.0