株式会社三和電機製作所

真空スイッチ SVS−7

最終更新日: 2010-05-07 17:29:38.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

真空スイッチ SVS−7
真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。

半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。

配線取りつけは、スイッチ内部に3P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。

取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR継手、ヘル−ルも可能です。
標準仕様  単位: kPa (Torr)
圧力調整範囲
(圧力レンジ) 1.3〜100 (10〜756)

開閉圧力差  2.7〜8.0 (20〜60)

耐圧力 300 (3kg/cm2)

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