最終更新日:
2018-08-02 09:47:59.0
精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適
真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。
電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。
半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。
配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。
取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR継手、ヘル−ルも可能です。
※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
基本情報
【仕様】
標準仕様 単位: kPa (Torr)
圧力調整範囲
（圧力レンジ） 1.3〜100 (10〜756）
開閉圧力差 2.7〜8.0 (20〜60)
耐圧力 300 (3kg/cm2)
※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SVS-7 |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 |
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