上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
DCスパッタのカテゴリーの内で、シリーズ最小の超コンパクトモデルです。
各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。
関連情報
多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター
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【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc.
〇試料サイズ:φ70mm(Max)
〇排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H):360/422/265mm
手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター
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【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DC/平行平板型
〇寸法(W/D/H):160/326/286mm
多種金属対応!業界最小クラスの超コンパクトコーターです。
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【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm/t0.5mm(Max)
○適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
○試料サイズ:φ50mm(Max)
○排気操作:手動式
○スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
○排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
○寸法(W/D/H):200/450/290mm
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