サンユー電子株式会社

多種金属対応のコンパクトコーター SC-701Mk II ADVANCE

最終更新日: 2020-04-23 12:24:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

Ni/Cr/W/Ti/Alなど多種金属のスパッタに対応したコンパクトコーター
「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。
DCスパッタのカテゴリーの内で、シリーズ最小の超コンパクトモデルです。
各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。

関連情報

多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター
多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター 製品画像

【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc.
〇試料サイズ:φ70mm(Max)
〇排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H):360/422/265mm

手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター
手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター 製品画像

【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DC/平行平板型
〇寸法(W/D/H):160/326/286mm

多種金属対応!業界最小クラスの超コンパクトコーターです。
多種金属対応!業界最小クラスの超コンパクトコーターです。 製品画像

【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm/t0.5mm(Max)
○適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
○試料サイズ:φ50mm(Max)
○排気操作:手動式
○スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
○排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
○寸法(W/D/H):200/450/290mm

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