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スパッタ装置 (14) ■RF/DCスパッタ装置絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF/DCスパッタ装置です。 ■導電薄膜作製用コンパクトスパッタ装置　Desk Top Quick Coater　SC Series 各種金属の薄膜作製がコンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。詳しく見る	真空蒸着装置 (8) ■抵抗加熱タイプコンパクトさと使い勝手の良さにこだわった真空蒸着装置です。 ■電子ビームタイプ高融点金属や化合物の蒸着に適した装置です。詳しく見る
電子顕微鏡試料作製用装置 (11) ■電子顕微鏡試料作製用装置シンプル操作の低価格イオンミリング装置や軽量コンパクトな電子顕微鏡用コータなどの装置です。詳しく見る	その他真空応用機器 (13) ■その他真空応用機器キャスター付で移動簡単な小型真空排気装置や蒸着装置への機能拡張が可能な真空排気装置です。詳しく見る
EB(電子ビーム)描画機器 (1) ■EB(電子ビーム)描画機器お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能な電子線描画用パターン発生装置や低価格でコンパクトな描画装置です。詳しく見る

全自動イオンコーター　SC-701AT

QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。【特徴】 ○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。 ○コーティング/エッチングモード搭載〇デバイスの電極膜付けにも使用可能
マグネトロンスパッタコーター　SC-701MC

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート ○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます

スパッタ装置 (14) ■RF/DCスパッタ装置絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF/DCスパッタ装置です。 ■導電薄膜作製用コンパクトスパッタ装置　Desk Top Quick Coater　SC Series 各種金属の薄膜作製がコンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。詳しく見る	真空蒸着装置 (8) ■抵抗加熱タイプコンパクトさと使い勝手の良さにこだわった真空蒸着装置です。 ■電子ビームタイプ高融点金属や化合物の蒸着に適した装置です。詳しく見る
電子顕微鏡試料作製用装置 (11) ■電子顕微鏡試料作製用装置シンプル操作の低価格イオンミリング装置や軽量コンパクトな電子顕微鏡用コータなどの装置です。詳しく見る	その他真空応用機器 (13) ■その他真空応用機器キャスター付で移動簡単な小型真空排気装置や蒸着装置への機能拡張が可能な真空排気装置です。詳しく見る
EB(電子ビーム)描画機器 (1) ■EB(電子ビーム)描画機器お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能な電子線描画用パターン発生装置や低価格でコンパクトな描画装置です。詳しく見る