上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。
関連情報
手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター
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【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DC/平行平板型
〇寸法(W/D/H):160/326/286mm
電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701Mk II ECO
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【仕様】
○ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd
○試料サイズ:φ50mm(Max)
○排気操作:手動式
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min
○スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
○寸法(W/D/H):160/255/286mm
デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」
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【仕様】
○ターゲットサイズ:49mm dia./ Au×1
○試料台サイズ:50mm dia.(T-S間調節範囲 - 20、30、40mm)
○排気操作:手動式
○スパッタ方式:DCスパッタ/平行平板型
○高圧電源:1.2kV/0~9.9mA
○到達圧力:5Pa
○チャンバーサイズ:90(dia.)×90(depth)mm(SUS製)
○タイマー:0~15min(最長30min)
○ガス導入機構:ニードルバルブ 導入口径外径φ6mm ワンタッチ継手
○排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
○設置電源:単相 AC100V±10% 50/60Hz 7A
○寸法・重量
→本体:160(W)×326(D)×286(H)mm、10kg
→RP:295.5(W)×156(D)×199.5(H)mm、9kg
○オプションターゲット:Ag、Pt、Pd、Au-Pd、Pt-Pd
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お問い合わせ
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